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东方晶源多年来深耕电子束检测范畴，其电子束劣势检测建造EBI与要害尺寸量测建造CD-SEM先后已毕国产替代零的破损，并获商场招供。

2023岁首，东方晶源推出DR-SEM r600，搭配3通说念电子成像时期与新式建造平台，在客户端完成量产考据，为后续拓荒奠定了基础。经过两年时辰迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEM r655居品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，破损一系列时期难点，抖擞国内先进制程产线愚弄需求。

电子束检测成像：5通说念探伤器掩盖更等闲的检测需求

光学检测升级：破损贤慧度极限

针对无图形晶圆劣势复检需求，最新一代的r655通过两项中枢翻新已毕破损：

着力跃升：产能对标海外水平

r655通过平台级升级，全面优化晶圆蒙眬成果：

改日布局：智能化与国产化深度交融

东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核情态念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法栽培劣势持取率，鞭策检测过程自动化。此举旨在通过自主创新，破损要害时期瓶颈，走出自研建造的说念路，为半导体产业链自主可控提供坚实撑持。

结语

从时期攻坚到产能破损，东方晶源DR-SEM系列居品不息以求实创新酬报商场需求。r655的推出尊龙体育网，鲜艳着国产电子束检测建造在精度、成果与智能化范畴迈入新阶段，为我国半导体先进制程发展注入苍劲动能。

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